硅电容器是一种新型电容器，以硅为衬底，采用MEMS制造工艺制造而成，其电介质可为氧化硅/氮化硅/氧化硅-氮化硅复合膜，全球只有少量几家制造商研发和生产，著名制造商有IPDIA(Murata)、M/A-COM、Skywork。